静电防护 ESD 作业规范

发布 2022-09-03 20:25:28 阅读 6711

文件編號:mlk-i-008

版本號 : b.0

项目頁次。0.0 封面1

1.0 目的2

2.0 范围2

3.0 职责2

4.0 定义2

5.0 参考资料2

6.0 规范3

7.0 附件8

核准審核編制:

日期日期日期:

分發號 :1. 0目的。

规范公司产品作业之相关防护过程,使产品承受之静电有害影响降至最小而不致有破坏性的损害。

2.0范围。

公司从进料至出货的全作业过程,包括运送、贮存及检查。

3.0职责。

3.1 工程部。

3.1.1 工程部主管负责本规范的维护;

3.1.2 负责静电防护评估及防静电设备导入;

3.2 品质部。

3.2.1 负责按本规范实施监控及宣导;

3.2.2 对不合格esd设备可予禁用;

3.3 各部门依本规范实施运作。

4.0 定义。

4.1 静电:静止存在的电荷即静电。

4.2 静电敏感材料:本规范定义为所有半导体非线性器件,包括:二极体、三极体、晶闸体、ic、光电器件、电声器件以及有上述器件存在并裸露的组件等。

5.0 参考资料。

5.1 静电的产生。

5.1.1 静电产生有三个途径:磨擦起电、物体的接触与分离(含流动)、感应生电。

5.1.2 静电无处不在,静电无时不在。

5.2 静电特性。

5.2.1 静电能量小,一般只有毫焦(mj)级;

5.2.2 静电电压高,如皮带传动所产生的静电可达60~100kv,一般办公室桌面静电电压可达600v。

5.2.3 静电具有感应性:即一个带有静电的物体,靠近另一物体时,另一物体也将形成具有相反电势的静电。

5.2.4 静电的积聚性:一个物体产生静电后,如果没有相应的泄放途径,其静电将一直存在并不断积累面升高,直至达到极限值后通过放电形式来泄放。

5.2.5 静电的屏蔽性:即一个接地的空心金属体,可以将其内部的电势与外部隔离,而不受外部影响。

5.3 静电的危害。

5.3.1 任何事物都有它的正反两面,静电在为人们所利用(如静电喷涂、静电植绒)的同时,也存在很多负面影响,特别是电子行业,半导体非线性器件多数为静电敏感器件,在制过程中如防护不当,极易造成功能性损坏或隐性功能下降。

5.3.2 静电的危害以放电形式产生,静电放电分为电晕放电、刷形放电、火花放电三种。其危害程度依次由弱渐强。

5.4 静电材料。

5.4.1 将常用物质按其易静电产生与积聚的程度由大至小可排列如下:

5.4.2 一般情况下,体积电阻率大于1010ω·cm3的液体及表面电阻率大于1011ω·cm2的固体均为易产生静电的材料。

5.4.3 对防静电鞋底的电阻要求为:小于0.5×105~1.0×108ω内,且所处地面电阻不应大于1.5×105ω.

5.4.4 对防静电服的要求为:带电电荷量小于0.6μc

面料的电荷密度小于0.7μc/m2。

另外耐洗涤次数大于100次为a级,大于50次为b级。

6.0 规范。

6.1 接地。

6.1.1 总接地要求。

6.1.1.1 总接地点应选择适当,在便于安装的情况下,应至少远离电力保护接地及防雷接地5m以上距离。

6.1.1.2 防静电接地点不可与电力工作接地、电力保护接地及防雷接地等系统共用接地点。

6.1.1.

3 总接地采用平板接地方式,使用500mm×500mm×10mm之镀锌铜板或钢板,平板以水平方式入地,要求板上平面与地表深度达1.5m以上,同时平板周围应辅以长效降阻剂等有效措施(详见附页接地平面图)。

6.1.1.4 接地总引出线之截面积不应小于15mm2。其埋于地下之部份应进行抗氧化处理(涂漆、附带绝缘护套等)。

6.1.1.5 接地总引出线与接地平板之间的连接应采用非钎接形式的焊接,不充许采用铆接、压接等其它连接方式。

6.1.1.6 接地引出线之接地电阻不充许大于4ω。

6.1.2 接地电阻的简易测量。

6.1.2.1 如图,在距总接地引出线点a左右各3m处采用截面积2.5cm2长1m的金属导体埋入地下,作为测量用的测量点b、c两点。

bac3m3m

6.1.2.2 将万用表置于适当之挡位,分别测量rab、rac、rbc三点间的电阻并记录。

6.1.2.3 计算:

因rab=ra+rb rac=ra+rc rbc=rb+rc

则 ra=(rab+rac—rbc)/2

6.1.2.4 总接地电阻要求每月定期测量一次,由工程me技术员执行,并记录于《总地电阻定期检查记录表》(见附表一)上。

6.1.3 接地设施。

6.1.3.1 从地面引至工作楼层的纵向接地干线的截面积不得小于15mm2,不充许纵向干线上存在任何断头接点,必须为完整无接点干线。

6.1.3.

2 每个工作楼层的横向分支干线之截面积不得小于10mm2,分支干线与主纵向干线的连接点须采用焊接或其他可靠连接方法,并满足连接阻抗小于0.1ω,同时采用抗氧化、抗外力等措施,确保连接可靠。

6.1.3.

3 工作地线之截面积不得小于2mm2, 工作地线与分支干线应可靠连接。工作地线不得与电力工作地线、电力保护接地(接零)互相通连或多点短接;工作地线为设备接地时,不得与设备之保护接地(接零)共用一个接地点。

6.1.3.4 工作地线之裸露部份应及时清理检查,防止因裸露氧化导致接触不良;静电手带或电烙铁接入时,要求将接入夹滑擦几次或香蕉头拔插几次。

6.1.3.5静电工作台面、地板与工作地线的连接应串接一1mω~1.5mω,1/4w以上的限流电阻。防止当总接地点不良或静电地线与电力线相碰时对人体的冲击。

6.2 贮存与周转。

6.2.1 所有的静电敏感器件均应得到妥善的贮存与周转。

6.2.2 各种静电敏感器件进料时均必须使用防静电包装,仓库接收静电敏感器件时,应审视其包装是否符合esd防护要求(特别是尾数包装),符合要求方可入库;如不符要求,可先行按6.

2.3的标准和作业规程更换包装入库,同时知会采购部主管和iqc检验人员,由采购部通知**商改善,iqc人员加严检验标准并记录。

6.2.3 对静电敏感器件来料防护包装的要求:

所有接触器件的内包装均应为静电耗散型或静电屏蔽型材料,并达到5.4.2的要求。

所有内包装均应封口或不易开裂,可以防止无意中外物的接触。

所有内包装均应空间适当,使内部器件不至有过分的相对位移而磨擦产生静电。

内包装的强度不足以支持其机械包装强度时,应有相应的外包装,此包装应合产品跌落性实验标准。

所有能独立分割保存的包装(含内包装与外包装)均应有明显的静电警示标志。

6.2.4 货仓应建立专门的esd库存区,存放静电敏感器件。

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